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한국해양대학교

한국해양대학교 전자전기정보공학부 나노반도체공학전공

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4차 산업혁명을 리드하는 반도체/소재공학 분야전문가를 양성하는

한국해양대학교 나노반도체공학전공

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반도체공정실험동 (Semiconductor Fabrication Lab.)

가. 실험실명칭 : 반도체공정실험동 (Semiconductor Fabrication Lab.)

반도체공정실험동

반도체공정실험동 (Semiconductor Fabrication Lab.) : 산업체 현장과 동일한 실험시설(크린룸)로서 MOCVD, HVPE, MBE, LPE, PECVD, RIE, Sputter, e-Beam, Aligner, RTA, Thermal Evaporator, PL system 등의 최첨단 반도체 장비를 갖추고 있다.

담당자 : 학과 조교 전화 : 051-410-4780[나노반도체공학전공] 업데이트 : 2021-11-09

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